关键词： 电容薄膜式压力变送器   发展现状   电容式薄膜真空计   技术水平  

摘要： 一、概述电容式薄膜真空计是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的,其主要由电容式薄膜规(又称电容式绝压变送器)和测量仪器两部分组成,其原理如图1所示.以下将主要介绍国内电容式薄膜规(以下简称薄膜规)的发展现状.

关键词： 薄膜真空计   电容式   固定电极   圆形薄膜   可变电容   相敏检波器   交流电桥   传感器   换能器   电子技术   被测压力  

摘要： 电容式薄膜真空计是近年来发展起来的一种性能良好的真空测量仪表。作者在文中介绍了他们研制的这种真空计的基本原理、结构形式、测量电路、实验结果及改进方向等。